概况：具有短波、中波及长波激发发光，可用于分析缺陷产生的深度。本功能适用于扩散后的样品。
短波波长：360nm—400nm；
中波波长：520nm—560nm；
长波波长：650nm—850nm；
软件功能：
1、图像增强功能
获得PL图像之后，软件可通过图像增强算子，使缺陷区域对比度提高，让一些容易被忽略的缺陷显示更明显。

2、缺陷区域自动选中
软件通过边缘算子，可将需要缺陷区域轮廓自动选中。